ATOMAX二流體霧化噴頭AM6S-IST/AM12S-IST應(yīng)用分析

在半導(dǎo)體晶圓噴涂過程中，一滴不經(jīng)意的多余液滴或涂層不均勻都可能導(dǎo)致價值數(shù)萬元的芯片報廢。這正是像ATOMAX這樣的精密二流體霧化噴嘴成為高精度制造領(lǐng)域不可少工具的原因。

其AM6S-IST和AM12S-IST型號憑借超細(xì)霧化能力和穩(wěn)定的性能，正在精密制造領(lǐng)域掀起一場技術(shù)革命。

01 核心技術(shù)：突破傳統(tǒng)霧化極限

ATOMAX AM6S-IST和AM12S-IST噴嘴采用外部混合渦流式二流體霧化技術(shù)，解決了傳統(tǒng)噴嘴在精密制造中的多項瓶頸。

傳統(tǒng)噴嘴在處理高粘度液體時往往面臨堵塞風(fēng)險，而ATOMAX通過直通式流道設(shè)計和超大注射直徑，將堵塞可能性降至低。

其液體流道直徑比傳統(tǒng)噴嘴大10-200倍，即使是含有固體顆粒的漿料或高粘度液體也能穩(wěn)定霧化。

這一創(chuàng)新結(jié)構(gòu)使AM6S-IST和AM12S-IST能夠產(chǎn)生平均粒徑約5μm的超細(xì)液滴，且粒徑分布極為均勻，為高精度涂層提供了基礎(chǔ)保障。

02 行業(yè)應(yīng)用：從半導(dǎo)體到醫(yī)療的精密覆蓋

半導(dǎo)體制造

在半導(dǎo)體領(lǐng)域，AM6和AM12系列噴嘴應(yīng)用于晶圓制造的多道工序。

在晶圓預(yù)清洗環(huán)節(jié)，它們可將去離子水或弱堿性清洗液霧化成超細(xì)液滴，有效去除0.1μm以上的顆粒污染物，且不損傷晶圓表面。

測試表明，采用這些噴嘴的預(yù)清洗工藝可使晶圓表面顆粒污染物減少85%以上。

在光刻膠涂覆過程中，AM6S-IST和AM12S-IST通過精確控制光刻膠霧化，可在晶圓表面形成納米級均勻度的薄膜，厚度偏差控制在±1%以內(nèi)。

醫(yī)療與制藥

在醫(yī)療領(lǐng)域，這些噴嘴用于藥品包衣、醫(yī)療器械表面處理和無菌環(huán)境消毒。

其超細(xì)霧化能力使藥液能夠均勻覆蓋在藥片表面，形成一致性高的包衣層，對于控制藥物釋放速率至關(guān)重要。

精密工業(yè)涂層

在汽車零部件和光學(xué)器件制造中，AM6S-IST和AM12S-IST實現(xiàn)了高性能表面涂層的精密噴涂。

無論是汽車零部件的高反射涂層還是光學(xué)鏡片的防反射涂層，這些噴嘴都能提供均勻細(xì)膩的噴涂效果。

03 實戰(zhàn)優(yōu)勢：精度與效率的雙重提升

節(jié)能性能

與傳統(tǒng)噴嘴相比，AM6S-IST和AM12S-IST可減少15%-70%的壓縮氣體消耗。

其低壓高效運行特性進(jìn)一步降低了能耗，同時憑借自吸功能，在處理低粘度液體時甚至無需泵送設(shè)備。

無與比的防堵性能

對于使用高粘度液體或漿料的企業(yè)來說，噴嘴堵塞是常見的生產(chǎn)中斷原因。ATOMAX噴嘴的直通式結(jié)構(gòu)和超大孔徑設(shè)計，解決了這一難題。

一家使用傳統(tǒng)噴嘴的企業(yè)曾需要每8小時停機(jī)清洗一次，換用ATOMAX后，維護(hù)間隔延長至72小時。

靈活的材質(zhì)選擇

為適應(yīng)不同工作環(huán)境，AM6S-IST和AM12S-IST提供SUS316L不銹鋼、PEEK和PTFE等多種材質(zhì)選項。

在強(qiáng)腐蝕性的電鍍液霧化環(huán)境中，可選擇耐化學(xué)腐蝕的PTFE材質(zhì)；而在需要高機(jī)械強(qiáng)度的場合，則可選用SUS316L不銹鋼材質(zhì)。

04 選型指南：匹配應(yīng)用需求的精準(zhǔn)選擇

根據(jù)應(yīng)用場景的不同，在AM6S-IST和AM12S-IST之間做出合適選擇至關(guān)重要：

• AM6S-IST更適合微量噴涂（低于1L/h）的場景，如實驗室微量試劑噴涂、精密儀器防腐蝕等

• AM12S-IST則適用于需要更寬噴霧覆蓋但仍保持高精度的場合

對于高粘度/含固液體（如陶瓷漿料、3D打印材料），可優(yōu)先考慮ATOMAX系列。

而在強(qiáng)腐蝕環(huán)境中（如電鍍、酸洗），應(yīng)選擇特殊材質(zhì)版本。

在空間受限的應(yīng)用中，AM6S-IST的超緊湊設(shè)計（內(nèi)徑<10mm）顯示出明顯優(yōu)勢。

05 應(yīng)用局限與應(yīng)對策略

盡管AM6S-IST和AM12S-IST性能，但也存在一定的局限性：

• 價格較高，在預(yù)算敏感型項目中可能不如中國本土品牌有競爭力

• 在超大規(guī)模工業(yè)噴涂中，可選型號相對有限

• 對氣體壓力穩(wěn)定性要求較高，供氣波動可能導(dǎo)致粒徑分布不均

• 特殊材質(zhì)噴嘴（如PEEK/PTFE）的機(jī)械強(qiáng)度較低，在高磨損環(huán)境中壽命可能較短

針對這些局限，用戶可在不需要超細(xì)霧化的常規(guī)應(yīng)用中選擇性價比更高的替代品牌，而在關(guān)鍵的高精度工序中保留ATOMAX噴嘴。

隨著半導(dǎo)體技術(shù)不斷向更小制程、更高集成度發(fā)展，以及醫(yī)療設(shè)備表面處理要求的不斷提高，對精密霧化技術(shù)的需求將與日俱增。

AM6S-IST和AM12S-IST這類高精度霧化噴嘴，已成為高品質(zhì)制造領(lǐng)域不可少的核心組件。