適用于 6 英寸晶圓和掩模的長壽命緊湊型準分子 VUV 172nm 光源介紹

適用于 6 英寸晶圓和掩模的長壽命緊湊型準分子 VUV 172nm 光源介紹

風冷緊湊型準分子燈單元，燈長160mm，該單元專為VUV 172波長的照射而設計，系統結構簡單，具有低成本、高性能的特點，準分子UV燈可實現低溫精密處理。

緊湊型準分子UV172nm UV光源是兼容6"晶圓和掩模基板的燈。其特點是簡單緊湊、高可靠性風冷型、無需更換燈管的長壽命準分子燈。*1電源為AC100V。

特點 

長壽命風冷準分子燈。無需更換燈管

　　　　本來，準分子紫外線燈的結構是燈泡內部沒有電極，因此理論上它們被認為是長壽命燈，在國外有時被稱為準分子燈。然而，如今追求高照度的準分子燈由于燈管材料更輕更薄、燈管溫度更高以及紫外線能量導致的玻璃變形，往往會導致燈管壽命較短，從而導致成本較高。

根據多年的現場經驗，Excimer Co., Ltd.的風冷緊湊型準分子燈需要定期更換外部電極、高壓電纜和高壓部件，但不需要更換內部電極。燈管本身，實現低成本和高可靠性。*1

特征

• 風冷方式，安裝方便。

• 燈管燈長160mm

• 電源 AC100V 50/60Hz

• 瞬時開/關燈功能。

• 適合研究和開發。

應用領域

• 表面潤濕性和改性

• 光化學

• 反應性OH自由基過程

• 抗蝕劑去除

• UV O3工藝

規格

*由于采用緊湊型風冷設計，連續點亮時間在10分鐘以內。