| 1. 潔凈室燈迷你N使用示例 |
（1）檢查
風淋室內部 當我用潔凈室
燈Mini N檢查
風淋室的內部時，有堆積的垃圾。 | 
（2）清潔后檢查
地板 如果您在清潔前后用Mini N檢查
潔凈室，則可以了解
清潔的重要性
。 | 
（3）
確認氣流 可以使用氣流可視化設備“迷霧
夢"一起
檢查
正壓和負壓！ |
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（4）檢查
無法到達的天花板如果您使用無法到達的天花板選項，則可以看到
灰塵！
在天花板上的灰塵落下之前采取措施！
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（5）
檢查難以看到的縫隙 縫
隙不可見的地方往往是灰塵的
溫床。
讓我們使用迷你N清潔！ | 
（6）用于
檢查隱形劃痕
迷你N不僅
檢查灰塵和灰塵，還可以帶出看不見的
劃痕！ |
2.與其他公司的小燈比較
~晶圓上的灰塵能看到多遠？ ~
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我們在相同條件下比較了潔凈室燈迷你N和其他公司的小型燈。
如上圖所示，您可以看到潔凈室燈迷你N壓倒性地顯示異物。
由于它以相同的角度照射，因此您可以看到潔凈室燈迷你N的光強度有影響。
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我們能看到多遠的晶圓上的灰塵？ 用粗粒子計數器驗證！ ！！
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它被光照亮，但我很好奇它能被看到多遠。
因此，我們用粗粒子計數器“RACCAR"測量了上述晶圓。
結果，發現可以看到小于30μm的灰塵！ ！！
RACCAR可以對30μm或更大的異物進行分類。
看上表，我們可以看到有30種大于34μm的異物。
與實際的晶圓圖像相比，測量值似乎很小，因為可以看到小于30μm的異物。
由此，您可以了解到，如果條件良好，
可以使用潔凈室燈迷你N確認小于30μm的異物。 |
