半導體晶片和玻璃面板運輸過程中的振動測量技術(shù)

半導體晶片和玻璃面板運輸過程中的振動測量技術(shù)

1. 測量條件

• 使用的測量儀器

• 高速3通道無線振動記錄儀MVP-RF3-HC

• 測量對象

• 液晶玻璃面板

• 尺寸

• 約 1.5m x 1.9m x 1.8mm

• 測量位置

• 將記錄器固定在玻璃基板的中心附近

• 固定方法

• 包裝膠布

• 輸送方向

• Z軸方向（面板垂直方向）

2. 加速度波形（振動波形）測量數(shù)據(jù)

加速度數(shù)據(jù)是從晶圓移動開始到停止的這段時間測量的。
高速3通道無線振動記錄儀內(nèi)置3軸加速度傳感器，因此可以同時測量3個方向的加速度值。

<最大加速度>

<討論>

1. 在這種載體中，啟動和停止時的加速度（振動）很大。

2. 運輸過程中加速度小。

3. 開始移動時施加的加速度（振動）更大。

4. 施加加速度（振動）的方向在 Z 軸方向（面板厚度方向）最大。

5. 最大加速度（振動）約為9.8m/sec^2（約1.0G）

3. FFT分析

<FFT分析條件>

在上述“加速度波形數(shù)據(jù)"中，提取并分析“開始移動"時的數(shù)據(jù)（0至1秒）。

<FFT分析結(jié)果>

<討論>

1. Z軸方向（面板厚度方向）在50Hz附近有一個譜峰。
   →是面板的固有振動頻率嗎？

2. 如果設(shè)備運行中有50Hz附近的頻率成分，由于共振的影響，面板損壞的可能性增加，估計成品率會下降。

相關(guān)產(chǎn)品介紹

• 

  8通道緊湊型無線運動記錄儀MVP-RF8-JC
• 

  無線振動監(jiān)測系統(tǒng)FiS
• 

  收集！振動數(shù)據(jù)鯤MVP-RF3-VCS
• 

  比較！振動數(shù)據(jù)鯤MVP-RF3-VD
• 

  無線振動診斷軟件MVP-BA-S
• 

  振動數(shù)據(jù)自動分析軟件MVP-VCS-S
• 

  振動位移分析軟件MVP-VD2-S
• 

  3軸加速度計引線型MA3系列
• 

  3軸加速度傳感器內(nèi)置型 MA3系列
• 

  高速3通道緊湊型無線振動記錄儀MVP-RF3-HC
• 

  高頻3通道無線振動記錄儀MVP-RF3-J
• 

  無線振動數(shù)據(jù)記錄儀 MVP-RF6L-AC
• 

  8通道緊湊型無線運動記錄儀MVP-RF8-HC
• 

  標清運動記錄儀MVP-SD