殘留氣體成分檢測用真空計SC-10的原理分析

殘留氣體成分檢測用真空計SC-10的原理分析

SC-10 通過測量總壓力的冷陰極計放電的顏色來區分氣體成分。利用光的顏色（波長）根據氣體成分而不同的事實來測量成分。也可以在 SC-10 光譜模式屏幕上查看氣體成分的波長。

由于氣體成分測定部設置在大氣壓側，因此不會被真空中的氣體污染，可以不受污染影響地進行測定。此外，冷陰極真空計不含燈絲，因此可用于嚴苛的應用。

智能真空計可以測量殘留氣體的成分，讓您可以快速了解真空設備在抽真空過程中的健康狀況，例如泄漏和水蒸氣的脫氣。下面兩張圖顯示了同一設備的不同抽氣數據。圖 1 顯示了正常抽氣，水蒸氣是決定總壓真空的主要成分，而在圖 2 中，由于泄漏而使用了氮氣。開始向下抽真空約5分鐘后停止，如果繼續抽真空，約10分鐘后氮氣變為水蒸氣以上，全壓真空度停止下降。通過使用智能真空計，您可以快速發現通過監測全壓真空度無法檢測到的排氣異常及其原因。

                                                                              圖1

                                                                           圖 2

使用智能真空計，您不僅可以知道是否有泄漏，還可以通過吹氦氣或氬氣找到泄漏的位置。圖 3 顯示了智能真空計在氬氣吹到泄漏點時的數據，可以看出由于氬氣的增加和氮氣的減少，此處存在泄漏。停止泄漏后，如圖4所示，氮氣和氧氣減少，水蒸氣成為主要成分，是真空設備的典型殘余氣體成分。

                                                                       圖 3

                                                                           圖 4