magnescale激光尺的特點及運用

magnescale激光尺的特點及運用

激光尺度的分辨率不僅要超越納米尺度，還要超越皮尺度。符合客戶要求的分辨率的開發(fā)速度就像摩爾定律*。Laserscale 可以提供的高分辨率和穩(wěn)定性支持先進的測量和定位控制。激光標尺在需要高精度和高分辨率的領域中不可少，例如下一代半導體制造和相機鏡頭模具加工。此外，我們通過使用 Z 傳感器將測量目標的范圍從 1D 擴展到 2D，再到 3D，并開發(fā)出具有高角度精度的編碼器，從而不斷預測需求。

*摩爾定律與半導體芯片的集成密度相關的定律，它規(guī)定密度每隔一到兩年就會翻一番。1965 年，英特爾的創(chuàng)始人之一戈登·摩爾宣布了這一經(jīng)驗法則。

激光尺的特點

• 光柵干涉尺

  由于采用了自主研發(fā)的光柵干涉儀作為檢測原理，實現(xiàn)了不受溫度、氣壓、空氣湍流影響的測量和控制。

• 全息
  標尺

  由于標尺以全息格式而不是繪圖格式制作，因此可以獲得具有良好線性度的輸出信號。

• 優(yōu)秀的插補處理技術

  使用我們的插值電路和校正技術可以獲得出色的插值精度。

應用

• 

  超精密載物臺（真空兼容）

• 

  表面粗糙度輪廓測量儀

• 

  半導體制造檢測設備

• 

  非接觸式精細形狀測量

• 

  異形磨床/導光板加工機

• 

  非球面加工機

相關產(chǎn)品介紹

• 系列

• 規(guī)格

• 類型名稱、材料

• BS系列

  最高分辨率下午 2.1 點
  信號波長138納米
  低噪聲下午4點
  有效長度
  低膨脹玻璃420 毫米
  蘇打玻璃960mm
  熱膨脹系數(shù)
  低膨脹玻璃-0.7× 10-6 /℃
  蘇打玻璃8× 10-6 /°C
  最大響應速度400毫米/秒

  透射式超高分辨率
  激光標尺

  BS78、BS65
  刻度材料：低膨脹玻璃 (BS78)
  堿板玻璃（BS65）

• BH系列

  最高分辨率下午 3.8 點
  信號波長250 納米
  有效長度640 毫米
  熱膨脹系數(shù)
  零玻璃0.1×10 -6 /°C
  無堿玻璃3.7× 10-6 /°C
  最大響應速度1,800 毫米/秒

  反射式超高分辨率
  激光標尺

  BH25
  刻度材料：零玻璃
  無堿玻璃

• BL系列

  最高分辨率下午 6.1 點
  信號波長400納米
  有效長度570mm
  速度
  連接 BD700 時3,000 毫米/秒
  模擬輸出5,000 mm/s
  熱膨脹系數(shù)
  零玻璃0.1×10 -6 /°C
  無堿玻璃3.7× 10-6 /°C

  反射式高速
  激光標尺

  BL50H
  刻度材料：零玻璃
  無堿玻璃

• BL系列

  最高分辨率10納米
  信號波長400納米
  有效長度
  低膨脹玻璃420 毫米
  蘇打玻璃1060 毫米
  熱膨脹系數(shù)
  低膨脹玻璃-0.7× 10-6 /℃
  蘇打玻璃8× 10-6 /°C
  最大響應速度3,000 毫米/秒

  透射式高速
  激光尺

  BL57
  刻度材料：低膨脹玻璃
  蘇打玻璃

• BH系列

  最高分辨率1.5 拉德
  信號波長250 納米

  反射式超高分辨率
  激光標尺

  BH20
  刻度材料：白板玻璃