用于半導體制造工藝的單組分密度計介紹

單組分密度計的特點

實時濃度測量成為可能，并且易于構建濃度控制系統。

• 標配模擬DC4-20mA和數字RS232C

• 標配測量誤差輸出和報警輸出

• 標配自診斷功能和錯誤信息顯示

• 緊湊輕便的單元式變送器可直接安裝在線路上

• 由于使用 PFA 的接液部件的質量和小輸出設計，對化學溶液沒有影響。

優點

• 可進行高精度連續測量

• 免維護，無需定期調整和校準

• 安裝方便，安裝過程中無需進行各種調整

• 通過實時輸出輕松反饋過程

用途

• CMP工藝中的CMP漿料或氧化劑濃度控制等。

• 稀釋過程中各種化學品的濃度控制（H2O2、TMAH、HNO3、H2SO4、HCl等）

• 清洗過程中清洗液濃度控制（HF、NH4OH、KOH、IPA等）

• 蝕刻過程中蝕刻液濃度控制（HF、H2SO4等）