日本excimer臭氧分解裝置OZFDT型介紹

日本excimer臭氧分解裝置OZFDT型介紹

特征

• 分解桌面紫外線照射設備產生的臭氧廢氣。

• 即使在沒有局部排氣設備的環境中也能對臭氧進行解毒。

• 非金屬催化劑分解高濃度臭氧氣體

• 廢氣濃度 0.1ppm 以下

• 長壽命設計催化劑壽命 1 年

• 請聯系我們。

臭氧用于殺菌、除臭、清洗、重整等時，臭氧氣體難以排出。如果直接用完，管道和風扇會腐蝕，很危險。如果排到外面，它會擴散，但不安全，因為排氣口附近的臭氧氣體濃度很高。在工廠，酸廢氣用抽氣機或洗滌器處理，但在工廠外，通常用臭氧過濾器排除。
傳統的臭氧過濾器分解器需要大容量、成本高且占用空間大，才能在短時間內處理高濃度臭氧氣體。為了配合小型臭氧利用裝置使用臭氧過濾器，通常在裝置內部放置臭氧過濾器，循環直至臭氧氣體被稀釋。

本公司在半導體制造設備等方面積累了豐富的技術和經驗，由于是小型臭氧過濾器，因此具有高性能，因此無需使臭氧氣體循環，即可一次性排出的廢氣濃度。設備0.1ppm以下實現并銷售了內置排氣扇的臭氧分解裝置。這種方法的優點是不需要循環處理，縮短了整個設備的處理時間。此外，由于臭氧分解過濾器在設備外部，因此不存在臭氧過濾器中使用的活性炭和重金屬催化劑等成分導致設備內部再污染的結構可能性。單程臭氧消減裝置是一種超潔凈設計理念

規格