石墨烯，SiC等超高溫的超材料熱處理設備-日本thermo氣流高溫爐

日本thermo氣流高溫爐，超高溫超級RTA系統SR系列

樣品可以在30秒內迅速加熱到1800℃。
z適合于石墨烯，SiC熱解生成，SiC活化熱處理以及超高溫材料的熱處理。
新型氣流類型！ 

	通過采用我們自己的紅外加熱技術，我們可以在30秒內完成高達1800℃的快速升溫測試。 達到1800℃的*溫度上升，功耗為2kW。 盡管是超高溫型號，但它使用的結構可將因熱而對芯管造成的損壞降至低。
	30秒內達到1800℃ 紅外輻射清潔加熱 省電僅2kW 高真空型和氣流型

	石墨烯/ SiC活化熱處理 SiC活化熱處理 超高溫材料加熱 電子材料的熱循環試驗
	超高溫超級RTA設備具有以下規格。
	型號名稱 SR1800G SR1800D SR1800 　紅外燈額定值 2千瓦 　gao溫度 1800°攝氏度 　加熱面積 φ15毫米 　大加熱速度  100°C /秒 300°C /秒  　氣體介紹 氣體流量 氣體吹掃  　大極限真空  5×10 -3帕 5×10 -5帕  　冷水量 2升/分鐘

SR-1800原理圖     氣流型超級RTA設備SR1800G型 臺式型超級RTA設備SR1800D型 超高溫超高速超級RTA設備SR1800型

SR1800模型具有改進的氣流路徑，并具有在氣流過程中進行測試的jia結構。 另外，除了加熱功能以外的纖薄化還實現了低價格。 這是一種可供更多研究人員使用的設備。

該產品已通過減小腔室部件的尺寸而減小到桌面尺寸，同時又保持了SR1800型的加熱能力和易處理性。

SR1800系列的高性能型號。 SR1800將樣品放在球面反射鏡中，并進行高效熱處理。 該設備是高度可擴展的設備，它結合了具有多個端口的真空室，一個安全回路和一個加熱體垂直機構。   渦輪分子泵可以連接到真空室，以支持10 -5 Pa的高真空。 可選的實驗包括氣壓調整等。   該設備是在東京新產品開發補貼項目的資助下開發的產品。