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              低壓力損失金屬氣體過濾器

              低壓力損失金屬氣體過濾器

              產(chǎn)品型號: UCD系列

              所屬分類:過濾器

              產(chǎn)品時間:2025-08-05

              簡要描述:日本pureron低壓力損失金屬氣體過濾器UCD系列
              過濾器材料全部采用SUS316L,不用擔心腐蝕和中間產(chǎn)物,同時具備較高的耐熱性能。

              詳細說明:

              日本pureron低壓力損失金屬氣體過濾器UCD系列

               

              • 過濾器材料全部采用SUS316L,不用擔心腐蝕和中間產(chǎn)物,同時具備較高的耐熱性能。
              • 使用氮氣(N2)輸入,當過濾器輸入側(cè)壓力為0.2MPa、流量為90SLM時,輸出側(cè)壓力損失△為0.05MPa。
              • 固定或脈動方式下過濾精度經(jīng)CNC確認達到0.003μm,實現(xiàn)了超微ULSI的制造的成品率大幅度提高。

              日本pureron低壓力損失金屬氣體過濾器UCD系列

              規(guī)格

               

              過濾精度0.003μm
              推薦流量10~100?/min(各型號區(qū)別:參考流量特性曲線)
              最高使用壓力0.98MPa(142PSIG) at20℃
              最大容許差壓0.7MPa(101.5PSIG) at20℃
              最高使用溫度460℃
              外部泄漏量2×10-11Pa?m3/sec以下
              構(gòu)成材料外罩:SUS316L(電解研磨處理)元素:SUS316L 內(nèi)表面粗糙度:Rmax0.7μm以下
              連接零件1/4"Gasket seal、其它


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