日本Atomax噴嘴在半導體制造領域的使用示例
行業使用示例[半導體/電子零件制造]
精密涂層
由于可以精確地霧化和噴射少量液體，因此可以在半導體和電子零件的制造過程中通過噴涂形成薄膜。
與其他噴涂系統相比，噴涂易于控制，設備配置也很簡單。其特點是一個噴嘴具有從厚涂層到薄膜的各種條件。
精密設備清洗
尖銳的粒度分布使其適用于需要精確度的精確清潔。由于霧化所需的壓縮氣體的流速小于常規噴嘴的流速，因此Atmax噴嘴的沖擊小且噴射速度低。
使用*的液體劑進行涂層工作
有兩個主要組成部分。標準噴嘴材料是SUS316L，因為它是非常簡單的組件結構，但是可以使用與使用環境相匹配的材料進行制造。另外，在接液部分不使用O形圈。
使用細顆粒的加工工作
可以容易地連續注入包含固體的漿液。為了通過噴霧獲得霧化，從小孔口噴霧是普遍的理論，但是Atmax噴嘴能夠霧化大直徑的噴霧。
日本Atomax噴嘴在半導體制造領域的使用示例
Atmax噴嘴AM型
Atmax Nozzle AM型噴嘴能夠精確地噴灑非常少量的液體藥劑，并獲得平均粒徑約為5μm的細顆粒。它是一個非常小的噴嘴，可以在20至750瓦的空氣壓縮機中運行。
